検索結果一覧に戻る

この文献を取り寄せる

図書館へ購入を依頼する

この情報を出力する

このページのリンク

他の検索サイト

ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著

データ種別 図書
著者標目 小島, 啓安 <コジマ, ヒロヤス>
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2015.2

所蔵情報を非表示

小金井・閲覧室一般書
549.8 60844171
9784526073663
工・機械・岩見健太郎
549.8 60852281
9784526073663

書誌詳細を非表示

版 第2版
巻次 ISBN:9784526073663 ; PRICE:3300円+税
大きさ ix, 437p ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: p425-434
件　名 BSH:薄膜
BSH:真空技術
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000225734
ISBN 9784526073663
NCID BB18417137

 類似資料

検索結果一覧に戻る