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Handbook of thin film deposition : techniques, processes, and technologies / edited by Krishna Seshan
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Seshan, Krishna |
| 出版者 | Waltham : William Andrew |
| 出版者 | Amsterdam : Elsevier [distributor] |
| 出版年 | c2012 |
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| 版 | 3rd ed |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9781437778731 |
| 大きさ | xviii, 392 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Thin films LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7872.T55 DC23:621.38152 |
| 書誌ID | 1000220892 |
| ISBN | 9781437778731 |
| NCID | BB1140025X |