---

ハンドウタイ ロコウ ソウチヨウ ステージ ヘンイ センサ ニ カンスル ケンキュウ : ネジ クドウ ステージ セイギョ ノ サイテキカ ト コウアンテイド エンコーダ ノ カイハツ
半導体露光装置用ステージ変位センサに関する研究 : ねじ駆動ステージ制御の最適化と高安定度エンコーダの開発 / 牧野内進著
(博士学位論文 ; 博工甲第738号)

データ種別	図書
著者標目	牧野内, 進 <マキノウチ, ススム>
出版者	小金井 : 東京農工大学大学院工学府
出版年	2011.3授与