A study on single crystalline AlN growth on sapphire substrates by hydride vapor phase epitaxy / Jumpei Tajima
(博士学位論文 ; 博工甲第714号)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 田島, 純平 <タジマ, ジュンペイ> |
出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学府 |
出版年 | 2011.3授与 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:ハイドライド気相エピタキシー法によるサファイア基板上窒化アルミニウム単結晶成長に関する研究 |
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大きさ | [iii], 110 p. ; 31 cm. |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | 所属: 応用化学 熊谷義直研究室 |
書誌ID | 1000219968 |