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SiGe スパッタエピタキシー ギジュツ ト コウソク デバイス エノ オウヨウ
SiGeスパッタエピタキシー技術と高速デバイスへの応用 / 花房宏明著
(博士学位論文 ; 博工甲第741号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 花房, 宏明 <ハナフサ, ヒロアキ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学府 |
| 出版年 | 2011.6授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:SiGe sputter epitaxy technology and its application to high-speed devices |
|---|---|
| 大きさ | iii, 115p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 須田良幸研究室 |
| 書誌ID | 1000219898 |