Mendeley出力
Low temperature fabrication technologies of thin film transistors by remote oxygen plasma treatment / Yuji Urabe
(博士学位論文 ; 博工甲第620号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 卜部, 友二 <ウラベ, ユウジ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学府 |
| 出版年 | 2009.3授与 |
書誌詳細を非表示
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:リモート酸素プラズマを用いた薄膜トランジスタの低温作成技術 |
|---|---|
| 大きさ | 120p ; 31cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 鮫島俊之研究室 |
| 書誌ID | 1000219875 |