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ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : エヌ・ティー・エス , 2013.6 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784864690591 ; PRICE:44000円+税 |
| 大きさ | 2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 文献: 各節末 |
| 書誌ID | 1000217274 |
| ISBN | 9784864690591 |
| NCID | BB12654468 |