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Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing / Donald M. Mattox
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Mattox, D. M. |
| 出版情報 | Kidlington, Oxford : William Andrew , c2010 |
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| 版 | 2nd ed |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9780815520375 |
| 大きさ | xlvi, 746 p. : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Physical vapor deposition -- Handbooks, manuals, etc 全ての件名で検索 |
| 分 類 | DC22:671.735 |
| 書誌ID | 1000214741 |
| ISBN | 9780815520375 |
| NCID | BB09012531 |