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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou
(Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 出版者 | Boca Raton : CRC Press |
| 出版年 | c2012 |
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| 巻次 | : hardback ; ISBN:9781420055160 |
|---|---|
| 大きさ | xiii, 636 p. : ill. (some col.) ; 29 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index "This third edition of fundamentals of microfabrication" -- p. [5] |
| 件 名 | LCSH:BioMEMS LCSH:Nanoelectromechanical systems LCSH:Nanotechnology LCSH:Biotechnology |
| 分 類 | LCC:TP248.25.B54 DC22:621.381 |
| 書誌ID | 1000209357 |
| ISBN | 9781420055160 |
| NCID | BB06583387 |