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Nano-lithography / edited by Stefan Landis
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Landis, Stefan |
| 出版者 | London : ISTE |
| 出版者 | Hoboken : Wiley |
| 出版年 | c2011 |
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| 別書名 | 原タイトル:La nanolithographie 異なりアクセスタイトル:Nano lithography 異なりアクセスタイトル:Nanolithography |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9781848212114 |
| 大きさ | xxv, 325 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index "Adapted and updated from 'La nanolithographie' published 2010 in France by Hermes Science/Lavoisier" -- t.p. verso |
| 件 名 | LCSH:Microlithography LCSH:Nanotechnology |
| 分 類 | LCC:TK7872.M3 DC22:621.3815/31 |
| 書誌ID | 1000208587 |
| ISBN | 9781848212114 |
| NCID | BB06019228 |