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マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 式田, 光宏(1964-) <シキダ, ミツヒロ> 佐藤, 一雄(1948-) <サトウ, カズオ> 田中, 浩 <タナカ, ヒロシ> |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2009.10 |