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SOI ノ カガク
SOIの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
(Surface science technology series ; 4)

データ種別	図書
著者標目	半導体基盤技術研究会 <ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ> 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ> 新田, 雄久 <ニッタ, カツヒサ>
出版者	東京 : リアライズ社
出版年	2000.4