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デンシセン リソグラフィ キョウホン
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
データ種別
図書
著者標目
秋永, 広幸
<アキナガ, ヒロユキ>
横山, 浩
<ヨコヤマ, ヒロシ>
出版者
東京 : オーム社
出版年
2007.6
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
コメント
ISBN
予約
利用注記
小金井・閲覧室一般書
549.7
60572425
9784274204159
予約
予約
工・機械・岩見健太郎
549.7
60729040
9784274204159
書誌詳細を非表示
別書名
標題紙タイトル:Electron beam lithography
巻次
ISBN:9784274204159 ; PRICE:3000円+税
大きさ
xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
本文言語
日本語
一般注記
監修: 横山浩
参考文献: p201-203
件 名
BSH:
リソグラフィー
BSH:
電子線
分 類
NDC8:
549.7
NDC9:
549.7
書誌ID
1000177464
ISBN
9784274204159
NCID
BA82476094
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