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Hydride vapor phase epitaxy of Al-related nitride semiconductors using controlled precursor molecules / Takayoshi Yamane
(博士学位論文 ; 博工甲第501号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 山根, 貴好 <ヤマネ, タカヨシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学府応用化学専攻 |
| 出版年 | 2007.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:原料分子制御によるAL系窒化物半導体のHVPE成長 |
|---|---|
| 大きさ | 103p ; 31cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | 所属: 応用化学 纐纈明伯研究室 |
| 書誌ID | 1000176526 |