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Semiconductor manufacturing handbook / Hwaiyu Geng, editor in chief
(McGraw-Hill handbooks)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Geng, Hwaiyu |
| 出版情報 | New York, N.Y. : McGraw-Hill , c2005 |
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| 巻次 | ISBN:0071445595 |
|---|---|
| 大きさ | 1 v. (various pagings) : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 書誌ID | 1000169741 |
| ISBN | 0071445595 |
| NCID | BA71921945 |