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マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
データ種別
図書
著者標目
吉村, 長光
<ヨシムラ, ナガミツ>
出版者
東京 : エヌ・ティー・エス
出版年
2003.12
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
コメント
ISBN
予約
利用注記
小金井・閲覧室一般書
534.93
60515817
4860430395
予約
予約
小金井・別置図書室
534.93
60446176
4860430395
予約
予約
工・機械・岩見健太郎
534.93
60713211
4860430395
書誌詳細を非表示
別書名
異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
巻次
ISBN:4860430395 ; PRICE:39900円
大きさ
6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
本文言語
日本語
一般注記
監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
件 名
BSH:
真空技術
BSH:
電子線
NDLSH:
真空工学
分 類
NDC9:
534.93
NDLC:
NB126
書誌ID
1000156071
ISBN
4860430395
NCID
BA6508397X
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