この文献を取り寄せる

図書館へ購入を依頼する

この情報を出力する

このページのリンク

他の検索サイト

プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク : セイマク ト エッチング ニュウモン
プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著

データ種別 図書
著者標目 市川, 幸美 <イチカワ, ユキミ>
佐々木, 敏明 <ササキ, トシアキ>
堤井, 信力 <テイイ, シンリキ>
出版情報 東京 : 内田老鶴圃 , 2003.7

所蔵情報を非表示

小金井・一般書
549.8 60413063
4753650480

書誌詳細を非表示

巻次 ISBN:4753650480 ; PRICE:4000円+税
大きさ viii, 289p ; 22cm
本文言語 日本語
件　名 BSH:半導体
BSH:プラズマ
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000140812
ISBN 4753650480
NCID BA6324911X

 類似資料