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シンクロトロン ホウシャコウ リソグラフィ ニ オケル ヒカリ ヘテロダイン カンショウ イチアワセ ギジュツ ノ カイハツ
シンクロトロン放射光リソグラフィにおける光ヘテロダイン干渉位置合わせ技術の開発 / 鈴木雅則著
(博士学位論文 ; 博工乙第62号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 鈴木, 雅則 <スズキ, マサノリ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科 |
| 出版年 | 2002.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Development of an optical-heterodyne alignment technique for synchrotron radiation lithography |
|---|---|
| 大きさ | iv, 189p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 機械システム工学 梅田倫弘研究室 |
| 書誌ID | 1000120574 |