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Microsystem design / Stephen D. Senturia
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Senturia, Stephen D., 1940- |
| 出版情報 | Boston : Kluwer Academic Publishers , c2001 |
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| 巻次 | ISBN:0792372468 |
|---|---|
| 大きさ | xxvi, 689 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes index Bibliography: p.[665]-676 |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
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LCSH:System design LCSH:Microelectronics |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC21:621.381 |
| 書誌ID | 1000114451 |
| ISBN | 0792372468 |
| NCID | BA50267345 |