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カゴウブツ ハンドウタイ ゼツエンマク カイメン トクセイ アンテイカ ニ ヨル デンシ ソシ トクセイ アンテイカ オヨビ シンライセイ コウジョウ ノ ケンキュウ
化合物半導体/絶縁膜界面特性安定化による電子素子特性安定化及び信頼性向上の研究 / 大鹿克志著
(博士学位論文 ; 博工乙第58号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 大鹿, 克志 <オオシカ, カツシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科 |
| 出版年 | 2001.9授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:A study of the improvements of compound semiconductor device performance and its reliability by passivation of the semiconductor/insulator film interfaces |
|---|---|
| 大きさ | 164p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 電子情報工学 齋藤忠研究室 |
| 書誌ID | 1000110854 |