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フラーレン ユウドウタイ ノ フクゴウカ ニ ヨル レジスト ザイリョウ ノ コウセイノウカ ノ ケンキュウ
フラーレン誘導体の複合化によるレジスト材料の高性能化の研究 / 石井哲好著
(博士学位論文 ; 博工甲第278号)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 石井, 哲好 <イシイ, テツヨシ> |
| 出版者 | 小金井 : 東京農工大学大学院工学研究科 |
| 出版年 | 2001.3授与 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Study of performance enhancement of resist materials by fullerene-derivative incorporation |
|---|---|
| 大きさ | 142p ; 31cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 所属: 応用化学 重原淳孝研究室 |
| 書誌ID | 1000109396 |