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Handbook of semiconductor manufacturing technology / edited by Yoshio Nishi, Robert Doering ; assistant editor, Tim Wooldrige
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Nishi, Yoshio Doering, Robert Wooldrige, Tim |
| 出版者 | New York : Marcel Dekker |
| 出版年 | c2000 |
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| 巻次 | ISBN:0824787838 |
|---|---|
| 大きさ | xiv, 1157 p. : ill. ; 29 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 書誌ID | 1000101818 |
| ISBN | 0824787838 |
| NCID | BA49061637 |