Mendeley出力
マイクロ マシン ノ ケイソク ヒョウカホウ
マイクロマシンの計測評価法 = Measurement and evaluation methods of micromachine
(MMCテクニカル・レポート = MMC technical report ; MMC TR-S002(01)-2000)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | マイクロマシンセンター <マイクロマシン センター> |
| 出版者 | 東京 : マイクロマシンセンター |
| 出版年 | 2000.6 |