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Micromachining and microfabrication
(IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Rai-Choudhury, P. |
| 出版情報 | Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press London : Institution of Electrical Engineers , c1997 |
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| 巻次 | : us ; ISBN:0819423793 : uk ; ISBN:0852969112 |
|---|---|
| 大きさ | vii, 692 p. : ill. ; 26 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | "SPIE press monograph PM40" Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Microlithography LCSH:Micromachining LCSH:Microfabrication |
| 分 類 | LCC:TK7836 DC21:670 |
| 書誌ID | 1000098770 |
| ISBN | 0819423793 |
| NCID | BA32829782 |