Investigation of growth processes in GaAs atomic layer epitaxy by in situ gravimetric and optical monitoring methods / Tetsuya Taki
(博士学位論文 ; 甲第203号)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 瀧, 哲也 <タキ, テツヤ> |
出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
出版年 | 1999.3授与 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:グラヴィメトリックおよび光学的その場測定法を用いたGaAs原子層エピタキシーの成長過程に関する研究 |
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大きさ | 73 p ; 31 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | 所属: 物質生物工学 関壽研究室 |
書誌ID | 1000092905 |