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Investigation of growth processes in GaAs atomic layer epitaxy by in situ gravimetric and optical monitoring methods / Tetsuya Taki
(博士学位論文 ; 甲第203号)

データ種別 図書
著者標目 瀧, 哲也 <タキ, テツヤ>
出版者 小金井 : 東京農工大学工学部
出版年 1999.3授与

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小金井・学位論文
090/K203 60206278

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別書名 異なりアクセスタイトル:グラヴィメトリックおよび光学的その場測定法を用いたGaAs原子層エピタキシーの成長過程に関する研究
大きさ 73 p ; 31 cm
本文言語 英語
一般注記 所属: 物質生物工学 関壽研究室
書誌ID 1000092905