Surface science technology series
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : リアライズ社 |
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1 | 3 シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修 東京 : リアライズ社 , 1996.6 |
2 | 4 SOIの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修 東京 : リアライズ社 , 2000.4 |
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本文言語 | 日本語 |
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書誌ID | 1000085266 |
NCID | BN14827776 |