シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ
集積回路プロセス技術シリーズ
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> |
出版者 | 東京 : 産業図書 |
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1 | 半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著 東京 : 産業図書 , 1992.10 |
2 | 半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著 東京 : 産業図書 , 1980.7 |
3 | 半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆 東京 : 産業図書 , 1989.2 |
4 | 半導体リソグラフィ技術 / 鳳紘一郎編著 東京 : 産業図書 , 1984.7 |
5 | 半導体イオン注入技術 / 蒲生健次編著 東京 : 産業図書 , 1986.7 |
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大きさ | 冊 |
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本文言語 | 日本語 |
書誌ID | 1000076891 |
NCID | BN00597860 |