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ハンドウタイコウジョウカンキョウセイジョウカソウゴウギジュツシリョウシュウ
半導体工場環境清浄化総合技術資料集 / 小野員正編
(環境技術シリーズ)

データ種別	図書
著者標目	小野, 員正 <オノ, カズマサ>
出版者	東京 : サイエンスフォーラム
出版年	1980.12

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配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	予約	利用注記
小金井・閲覧室参考書		549	50290956

書誌詳細を非表示

巻次	PRICE:48000円
大きさ	410p ; 31cm
本文言語	日本語
一般注記	各章末:参考文献
件　名	NDLSH:半導体 NDLSH:工程管理
分　類	NDC8:549.8 NDLC:ND371 NDLC:M281
書誌ID	1000063367
NCID	BN14485934