ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Stuart, R. V. 著 毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ> |
出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
出版年 | 1985.10 |