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Semiconductor lithography : principles, practices, and materials / Wayne M. Moreau
(Microdevices : physics and fabrication technologies)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Moreau, Wayne M. |
| 出版者 | New York : Plenum Press |
| 出版年 | c1988 |
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| 巻次 | ISBN:0306421852 |
|---|---|
| 大きさ | xx, 931 p. : ill. ; 26 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors LCSH:Microlithography LCSH:Photoresists |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1000053006 |
| ISBN | 0306421852 |
| NCID | BA03566023 |