Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Einspruch, Norman G. Brown, Dale M. |
出版者 | New York ; Orlando : Academic Press |
出版年 | 1984 |
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巻次 | ISBN:0122341082 |
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大きさ | xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | Includes bibliographies and index |
件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration
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分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
書誌ID | 1000052521 |
ISBN | 0122341082 |
NCID | BA00536241 |