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Ellipsometry for industrial applications / Karl Riedling
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Riedling, Karl, 1948- |
| 出版者 | Wien ; New York : Springer-Verlag |
| 出版年 | 1988 |
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| 巻次 | : us ; ISBN:038782040X : gw ; ISBN:321182040X |
|---|---|
| 大きさ | xii, 99 p. : ill. ; 26 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Bibliography: p.[91]-95 Includes index |
| 件 名 | LCSH:Thin films -- Measurement
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LCSH:Ellipsometry -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.3815/2/0287 |
| 書誌ID | 1000049724 |
| ISBN | 038782040X |
| NCID | BA03686557 |