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Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Tsao, Jeffrey Y. |
| 出版者 | Boston ; Tokyo : Academic Press |
| 出版年 | c1989 |
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| 巻次 | ISBN:0122334302 |
|---|---|
| 大きさ | xii, 587 p. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications
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LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography |
| 分 類 | LCC:TA1677 DC19:621.36/6 |
| 書誌ID | 1000045477 |
| ISBN | 0122334302 |
| NCID | BA07027712 |