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ヒカリ CVD ゴサンカ タンタル ハクマク ノ タイセキ ト リーク デンリュウ テイゲン ノ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究 / 谷本智著
(博士学位論文 ; 甲第18号)

データ種別	図書
著者標目	谷本, 智 <タニモト, サトシ>
出版者	小金井 : 東京農工大学工学部
出版年	1992.3授与