Plasma deposited thin films / editors, J. Mort, F. Jansen
データ種別 | 図書 |
---|---|
著者標目 | Mort, J. Jansen, F. (Frank), Ph. D. |
出版者 | Boca Raton, Fla. : CRC Press |
出版年 | c1986 |
書誌詳細を非表示
巻次 | ISBN:0849351197 |
---|---|
大きさ | 245 p. : ill. ; 26 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | Includes bibliographies and index |
件 名 | LCSH:Thin film devices LCSH:Vapor-plating LCSH:Plasma engineering |
分 類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.381/7 |
書誌ID | 1000043708 |
ISBN | 0849351197 |
NCID | BA01334220 |