チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 津田, 穣(1935-) <ツダ, ミノル> |
出版者 | 東京 : 共立出版 |
出版年 | 1990.4 |