Study on vapor phase epitaxy and growth mechanism of III-V compound semiconductors / Hitoshi Ikeda
(博士学位論文 ; 甲第60号)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 池田, 等 <イケダ, ヒトシ> |
出版者 | 小金井 : 東京農工大学工学部 |
出版年 | 1994.3授与 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:III-V族化合物半導体の気相成長と成長メカニズムに関する研究 |
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大きさ | 109 p. ; 30 cm. |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | 所属: 物質生物工学 関壽研究室 |
書誌ID | 1000020635 |