ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08)
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ> 石原, 健 <イシハラ, タケシ> 堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ> |
出版者 | 東京 : 丸善 |
出版年 | 1991.3 |