Photoreactive polymers : the science and technology of resists / Arnost Reiser
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | *Reiser, Arnost |
出版情報 | New York : Wiley , c1989 |
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巻次 | ISBN:0471855502 |
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大きさ | xii, 409 p. : ill. ; 24 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | "A Wiley-Interscience publication." Includes bibliographies and index |
件 名 | LCSH:Polymers and polymerization LCSH:Imaging systems LCSH:Photoresists |
分 類 | LCC:QD382.P45 DC19:621.36/7 |
書誌ID | 1000004345 |
ISBN | 0471855502 |
NCID | BA07613103 |