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Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman
(A Wiley-Interscience publication)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Chapman, Brian N. |
| 出版者 | New York : Wiley |
| 出版年 | c1980 |
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| 巻次 | ISBN:047107828X ; PRICE:$26.95 |
|---|---|
| 大きさ | xv, 406 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Glow discharges LCSH:Plasma etching |
| 分 類 | NDC8:427.5 LCC:QC702.7.P6 DC:537.5/2 |
| 書誌ID | 1000054297 |
| ISBN | 047107828X |
| NCID | BA00536398 |